The Magazine of the IEIE (전자공학회지)

The Institute of Electronics and Information Engineers (대한전자공학회)
권호 표지

ULSI를 위한 금속박막 CVD 기술

  • 민석기 (한국과학기술연구원 반도체재료연구실) ;
  • 김용태 (한국과학기술연구원 반도체재료연구실)
  • Published : 1990.08.01
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Abstract

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