The Magazine of the IEIE (전자공학회지)

Volume 17 Issue 4
/
Pages.62-65
/
1990
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1016-9288(pISSN)

The Institute of Electronics and Information Engineers (대한전자공학회)

권호 표지

0.5${\mu}m$에 대응하는 평탄화 기술의 현황과 과제(CVD를 중심으로)

이종길 (삼성전자(주)) ;
이종무 (인하대학교 금속공예과)

Published : 1990.08.01

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Abstract

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