고밀도 DRAM Cell의 새로운 구조에 관한 연구

A Study on New High Density DRAM Cell

ITIC를 중심으로 고밀도 DRAM을 위한 획기적인 밀도 향상을 기할 수 있는 공정과정과 회로디자인의 기술 혁신에 대하여 지다이너 입장에서 논의하였다. 여기서 개발한 TETC라 부르는 DRAM은 trench 기술과 SEG기술을 이용하였는데 $n^+-polysilycon$인 storage 전극과 $n^+-source$ 전극이 self-con-tact되고 soft error 를 극복할 만큼 충분히 큰 정전용량을 갖으므로 절연 영역을 따라서 만든 수직의 캐패시터를 이용함으로써 셀 크기를 기존의 BSE cell구조에 비하여 약 30% 감소되었다.

For the higher density DRAM'S, innovations in fabrication process and circuit design which have led to dramatic density improvement are discussed from the desinger's perspective. A new dynamic RAM cell called Trench Epitaxial Transistor Cell(TETC) using trench technics and SEG have been developed for use in future megabit DRAMS. Storge electrode with $n^+$-polysilicon and $n^+$-source electrode are self-contacted in TETC. With keeping the storage capacitance large enough to prevent soft errors, the cell size reduced to 30% compare with existing BSE cell by utilizing the vertical capacitor made along the isolation region.