대한전자공학회논문지 (Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics)
- 제26권7호
- /
- Pages.58-72
- /
- 1989
- /
- 1016-135X(pISSN)
SLIP 현상 및 공정소모 POWER를 최소화하기 위한 RTA 제작
RTA Development to Minimize SLIP and Process Power Consumption
- Kwon, Kyung-Sup (Dept. of Elec. Eng., Jungang Univ.) ;
- Jang, Hyun-Ryong (Dept. of Elec. Eng., Jungang Univ.) ;
-
Hwang, Ho-Jung
(Dept. of Elec. Eng., Jungang Univ.)
- 발행 : 1989.07.01
초록
본 연구에서는 텅스텐 할로겐 램프를 사용한 RTA(or RTP) 장치를 제작하여 웨이퍼 가장자리와 내부사이의 서로 다른 반사계수를 갖는 반사판을 사용하여
Rapid thermal annealing system using tungsten halogen lamps and reflectors was developed to get 2 slips per
키워드