Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

DSMC 방법을 이용한 극 저압 CCP 챔버 내의 유동 해석

  • 김진석 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 송인철 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 허민영 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 이호준 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 이해준 (부산대학교 전자전기공학과)
  • Published : 2013.02.18
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Abstract

세계의 반도체, 의료, 금속, 섬유 등의 분야에서 기술이 고도화됨에 따라서 나노 입자, High quality 박막 등에 대한 수요는 커져가고 있다. 이를 제조하기 위한 공정은 극 저압 상태에서 이루어진다. 따라서 극 저압 기체 흐름에 대한 이해는 필수적이다. 하지만 일반적으로 수 mTorr 이하의 압력에서는 유체 시뮬레이션으로 해석하는 것이 불가능하다. 그러므로 우리는 DSMC 방법을 이용하여 극 저압 CCP 챔버 내의 기체의 흐름을 해석하고 특성을 살펴보았다.

Keywords