Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2013.02a
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- Pages.432-432
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- 2013
CdTe기반의 엑스선 검출기의 표면 구조에 따른 박막의 전기적 특성평가
- Kim, Dae-Guk ;
- Sin, Jeong-Uk ;
- Lee, Yeong-Gyu ;
- Lee, Ji-Yun ;
- No, Seong-Jin ;
- Park, Seong-Gwang ;
- Nam, Sang-Hui
- 김대국 (인제대학교 의료영상과학 대학원) ;
- 신정욱 (인제대학교 의용공학과) ;
- 이영규 (인제대학교 의용공학과) ;
- 이지윤 (인제대학교 의용공학과) ;
- 노성진 (인제대학교 의용공학과) ;
- 박성광 (인제대학교 백병원 방사선 종양학과) ;
- 남상희 (인제대학교 의료영상과학 대학원)
- Published : 2013.02.18
Abstract
현대에 이르러 직접방식 엑스선 검출기에서는 기존의 a-Se을 주로 이용하였지만, 고전압 인가에 따른 회로 손상과 짧은 수명, 그리고 누설전류에 따른 안전의 문제 등으로 낮은 에너지 밴드갭과 높은 흡수효율, 비저항 등에 의거한 다양한 대체 물질에 대한 연구가 활발하게 이루어져가고 있다. 본 논문에서는 직접방식 엑스선 검출물질로 전기이동도와 흡수효율이 뛰어나고, 밴드갭이 낮아 태양전지분야 뿐만 아니라 최근 엑스선 검출물질로 각광받고 있는 CdTe를 선정하였다. 연구의 목적은 PVD (Physical Vapor Deposition)방식의 CdTe 검출 물질의 제작과정에서 CdTe가 기화되어 하부전극 기판에 증착될 시, 하부전극 기판 온도에 따른 CdTe의 박막형성과 전기적 측정을 실시하여 그에 따른 최적의 증착조건을 선정하는 것이다. 하부전극 기판으로는 Au/glass를 사용하였으며 증착 시,