AIP(Arc Ion Plating) 공법을 이용한 나노다층구조, 나노복합체 nc-AlCrN/a-Si3N4 코팅막의 미세조직과 특성

Microstructural aspects and properties of nano multilayered nc-AlCrN/a-Si3N4 by AIP method

  • 발행 : 2012.11.08