한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

비대칭 마그네트론 스퍼터링을 이용한 Zn-Mg 박막 합성 및 특성 연구

Characteristics of Zn-Mg coatings synthesized by unbalanced magnetron sputtering process

  • 라정현 (한국항공대학교 표면기술응용연구센터) ;
  • 이유진 (한국항공대학교 표면기술응용연구센터) ;
  • 김동준 (한국항공대학교 표면기술응용연구센터) ;
  • 김성민 (한국항공대학교 표면기술응용연구센터) ;
  • 이상율 (한국항공대학교 표면기술응용연구센터) ;
  • 박상민 (안동대학교 신소재공학부) ;
  • 이상용 (안동대학교 신소재공학부)
  • 발행 : 2012.11.08
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초록

현재 표면처리 산업에서 흔히 사용되는 아연 습식 도금의 환경 오염문제, Zn의 고갈 문제 등의 해결책으로 건식코팅 공정의 적용, 대체 코팅물질의 개발에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 이에 일환으로 본 연구에서는 비대칭 마그네트론 스퍼터링 공정을 이용하여 Zn-Mg 합금 타겟의 Mg 함량을 0wt.%에서 10wt.%로 변화하며 Zn-Mg 합금 박막을 합성하였고, 박막의 특성을 분석하였다.

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