한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

아크이온플레이팅법에 의한 CrTiAlSiN 박막의 Si 함량 변화에 따른 특성 연구

The Study on the properties of CrTiAlN Thin Films with Si Contents Variation by Cathodic Arc Ion Plating

  • 조용기 (한국 생산기술연구원 열.표면연구그룹) ;
  • 유광춘 (한국 생산기술연구원 열.표면연구그룹) ;
  • 정동근 (성균관대학교 물리학과)
  • 발행 : 2012.11.08
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초록

아크이온플레이팅법과 스퍼터링법을 이용하여 금형의 보호코팅으로서 CrTiAlSiN 박막을 합성하였다. 연구는 CrTiAlN 피막에 Si이 첨가됨에 따른 농도변화가 피막의 경도 및 내열성에 미치는 영향을 조사하였다. Si 함유량 변화에 따른 특성의 변화에 대해 XRD, TGA, 경도분석, 윤활성의 분석을 통해 조사하였으며, 함성된 피막은 기존 CrN 박막 대비 내열성이 우수하게 향상되었으며 경도의 향상과 낮은 윤활성을 보였다.

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