한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2012년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.1095-1096
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- 2012
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- 2005-8446(pISSN)
와전류 감쇠기를 고려한 정밀 스테이지용 반발력 보상 장치의 최적 설계
Optimal design of reaction force compensation device for precision stage considering eddy current damper
- 발행 : 2012.05.30