한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2012년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.1095-1096
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2012
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

와전류 감쇠기를 고려한 정밀 스테이지용 반발력 보상 장치의 최적 설계

Optimal design of reaction force compensation device for precision stage considering eddy current damper

유요한 (숭실대학교 기계공학과) ;
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안형준 (숭실대학교 기계공학과) ;
최동수 ((주)저스텍 기술연구소) ;
조규중 ((주)저스텍 기술연구소)

발행 : 2012.05.30

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