Simulation of Contact Resonance Frequency of Ultrasonic AFM Cantilever

초음파원자현미경 캔틸레버의 접촉공진주파수 시뮬레이션

  • 한유하 (서울과학기술대학교 NID 대학원) ;
  • 박익근 (서울과학기술대학교 기계공학과) ;
  • 곽동열 (서울과학기술대학교 NID 대학원) ;
  • 김용권 (서울과학기술대학교 기계공학과)
  • Published : 2012.05.30