Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2012.05a
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- Pages.503-504
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- 2012
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- 2005-8446(pISSN)
Properties study on Dry etching of ZnO:Al film with the hexafluoroacetylacetone
Hexafluoroactylacetone을 이용한 건식식각 공정에서 ZnO:Al 박막의 식각 특성에 관한 연구
- Published : 2012.05.30