Properties study on Dry etching of ZnO:Al film with the hexafluoroacetylacetone

Hexafluoroactylacetone을 이용한 건식식각 공정에서 ZnO:Al 박막의 식각 특성에 관한 연구

  • 심하몽 (전남대학교 광공학협동과정) ;
  • 박영식 (한국광기술원 3D융합기술연구센터) ;
  • 이동길 (한국광기술원 3D융합기술연구센터)
  • Published : 2012.05.30