Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2012.10a
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- Pages.57-58
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- 2012
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- 2005-8446(pISSN)
A Piezo Stage Driven by Antagonistic Forces
상반력에 의해 구동되는 압전 스테이지
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Choi, K.B.
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Lim, H.J.
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Park, S.Y.
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Lee, S.H.
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- Ten, A.D. ;
- Shin, E.J.
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최기봉
(한국기계연구원 나노융합기계연구본부)
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임형준
(한국기계연구원 나노융합기계연구본부)
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박수연
(한국기계연구원 나노융합기계연구본부)
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이성휘
(한국기계연구원 첨단생산장비연구본부)
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- 알렉세이 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부) ;
- 신은주 (한국기계연구원 나노융합기계연구본부)
- Published : 2012.10.24