Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2011.06a
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Pages.575-576
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2011
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

A Study of Static-structure with 5-Axis Stage for Vacuum

진공용 5축 스테이지의 정강성 해석에 관한 연구

정종규 (국민대학교 기계자동차공학부) ;
신동혁 ((주)애니모션텍) ;
신승현 ((주)애니모션텍) ;
원종진 (국민대학교 기계시스템공학부) ;
정재일 (국민대학교 기계시스템공학부)

Published : 2011.06.01

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Abstract

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