Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2011.06a
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  • Pages.177-178
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  • 2011
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Fabrication process and electro-mechanical measurement of miniature MEMS microphone

초소형 MEMS 마이크로폰의 제작공정 및 기전특성 측정 연구

  • 허신 (한국기계연구원 자연모사연구실) ;
  • 정영도 (한국기계연구원 자연모사연구실) ;
  • 이영화 (한국기계연구원 자연모사연구실) ;
  • 이규항 (한국기계연구원 자연모사연구실)
  • Published : 2011.06.01
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Abstract

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