Multiphysics Analysis of Microbolometer with Small Pixel Size

초소형 마이크로 적외선 센서의 다중물리 해석

  • 김태현 (국가나노종합팹센터 Sa-FPA팀) ;
  • 김경민 (국가나노종합팹센터 Sa-FPA팀) ;
  • 박재홍 (국가나노종합팹센터 Sa-FPA팀) ;
  • 경기명 (국가나노종합팹센터 Sa-FPA팀) ;
  • 이태중 (국가나노종합팹센터 Sa-FPA팀) ;
  • 김희연 (국가나노종합팹센터 Sa-FPA팀)
  • Published : 2011.06.01

Abstract

Keywords

Acknowledgement

Supported by : 한국연구재단