한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2010년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.537-538
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- 2010
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- 2005-8446(pISSN)
Floating poly-Si 상에 형성되는 자연 산화막 제어를 통한 C&M 제품의 Programming 특성 향상에 관한 연구
Investigation of controlled native oxidation in surface of Floating poly-Si at C&M products
- 김인식 (삼성전자공과대학교 반도체공학과) ;
- 이공수 (삼성전자공과대학교) ;
- 성훈제 (삼성전자) ;
- 소진호 (삼성전자) ;
- 이상우 (삼성전자) ;
- 최수옥 (삼성전자) ;
- 상재호 (삼성전자)
- Kim, I.S. (SSIT) ;
- Lee, K.S. (SSIT) ;
- Sung, H.J. ;
- So, J.H. ;
- Lee, S.W. ;
- Choi, S.G. ;
- Sang, J.H.
- 발행 : 2010.05.26