Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2010.05a
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Pages.535-536
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2010
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Electrical Extraction of One Dimensional MOSFET Doping Profiles by Threshold Voltage Measurement

트랜지스터 문턱전압 측정을 통한 MOSFET 소자의 1 차원 Doping Profile 측정

권석일 (성균관대학교) ;
최병덕 (성균관대학교) ;
박현호 (삼성전자) ;
정한욱 (성균관대학교) ;
기완욱 (성균관대학교)

Published : 2010.05.26

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