Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2010.05a
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  • Pages.533-534
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  • 2010
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Wet cleaning process, DI water at a temperature of According to the study of changes in the characteristics of BPSG membranous

Wet cleaning 공정 시 DI water 의 온도에 따른 BPSG 막질의 특성 변화에 대한 연구

  • 장재규 (삼성공과대학교 반도체공학과) ;
  • 이공수 (삼성반도체 메모리 제조센터) ;
  • 윤민상 (삼성반도체 메모리 제조센터) ;
  • 안정수 (삼성반도체 메모리 제조센터)
  • Published : 2010.05.26
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Abstract

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