Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2010.05a
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Pages.295-296
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2010
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Study of Mechano-Chemical Polishing Process for Sapphire Wafers

LED 사파이어 기판 가공을 위한 MCP 설계 및 가공 조건 연구

강호주 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과 대학원) ;
송희영 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과 대학원) ;
정명영 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) ;
노태영 ((주)디나옵틱스)

Published : 2010.05.26

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Abstract

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