한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2009년도 제36회 동계학술대회 초록집
- /
- Pages.254-254
- /
- 2009
신호대 잡음비를 활용한 플라즈마 식각공정의 실시간 다변량 통계적 종말점 검출
- Han, Gyeong-Hun (Univ. of Texas at Austin) ;
- Hwang, Jin-Ha ;
- Park, Geun-Ju ;
- Chae, Hui-Yeop
- 발행 : 2009.02.11