신호대 잡음비를 활용한 플라즈마 식각공정의 실시간 다변량 통계적 종말점 검출

• Han, Gyeong-Hun (Univ. of Texas at Austin) ;
• Hwang, Jin-Ha ;
• Park, Geun-Ju ;
• Chae, Hui-Yeop

• 한경훈 ;
• 황진하 (성균관대학교) ;
• 박근주 ((주) DMS) ;
• 채희엽 (성균관대학교)

• Published : 2009.02.11

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