한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

The Low Temperature Synthesis of ZnO Thin Films by Facing Target Sputtering

  • 송두훈 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 김연준 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 최윤석 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 최인식 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 한전건 (플라즈마 응용 표면기술 연구센터, 성균관대학교 신소재공학과)
  • 발행 : 2009.02.11
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