한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

Characterization of Al-doped ZnO thin film grown on buffer layer with RF magnetron sputtering method

  • 노영수 (한국과학기술연구원 재료기술연구본부장실) ;
  • 이상엽 (한국과학기술연구원 재료기술연구본부장실) ;
  • 김태환 (한양대학교 전자전기컴퓨터학부) ;
  • 최원국 (한국과학기술연구원 재료기술연구본부장실)
  • 발행 : 2009.02.11
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