톨루엔-TEOS 복합 플라즈마 폴리머 박막 특성 연구

  • 조상진 (성균관대학교 화학과) ;
  • 배인섭 (성균관대학교 화학과) ;
  • ;
  • 부진효 (성균관대학교 화학과)
  • Jo, Sang-Jin ;
  • Bae, In-Seop ;
  • Trieu, Nguyen ;
  • Bu, Jin-Hyo
  • 발행 : 2009.02.11