한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.7-7
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- 2009
Submicron CMOSFET에서 기판 방향에 대한 소자 성능 의존성 분석
- 박예지 (충남대학교 전자전파정보통신공학과) ;
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한인식
(충남대학교 전자전파정보통신공학과) ;
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박상욱
(충남대학교 전자전파정보통신공학과) ;
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권혁민
(충남대학교 전자전파정보통신공학과) ;
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복정득
(충남대학교 전자전파정보통신공학과) ;
- 박병석 (충남대학교 전자전파정보통신공학과) ;
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이희덕
(충남대학교 전자전파정보통신공학과)
- Park, Ye-Ji ;
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Han, In-Sik
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Park, Sang-Uk
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Gwon, Hyeok-Min
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Bok, Jeong-Deuk
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- Park, Byeong-Seok ;
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Lee, Hui-Deok
- 발행 : 2009.11.12
초록
In this paper, we investigated the dependence of HCI (Hot Carrier Immunity) degradation and device performance on channel orientation in sub-micron PMOSFET. Although device performance (