Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2009.06a
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Pages.929-930
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2009
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Evaluation of durability and etching rate of material of the Multi-aperture plate for Multi-FIB

다중 FIB 용 다중 개구 소재의 에칭속도 및 내구성 평가

최연순 (연세대학교 정보저장기기연구센터) ;
김태곤 (연세대학교 기계공학부) ;
민병권 (연세대학교 기계공학부) ;
김영주 (연세대학교 정보저장기기연구센터)

Published : 2009.06.03

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Abstract

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