Evaluation of durability and etching rate of material of the Multi-aperture plate for Multi-FIB

다중 FIB 용 다중 개구 소재의 에칭속도 및 내구성 평가

  • 최연순 (연세대학교 정보저장기기연구센터) ;
  • 김태곤 (연세대학교 기계공학부) ;
  • 민병권 (연세대학교 기계공학부) ;
  • 김영주 (연세대학교 정보저장기기연구센터)
  • Published : 2009.06.03