Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2009.06a
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Pages.913-914
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2009
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Shape Accuracy according to Laser Beam Exposure Patterns of Non-planar Mask for $\mu$-ATM

미세입자 분사가공 비 평면 마스크의 레이저 주사 패턴에 따른 형상정밀도

유규상 (충북대학교 기계공학과) ;
최성규 (충북대학교 정밀기계공학과) ;
이인환 (충북대학교 기계공학부)

Published : 2009.06.03

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Abstract

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