Characteristics of hot embossing process for micro optics device

마이크로 광소자 Hot embossing 공정 특성 연구

  • 오현성 (부산대학교 나노융합기술학과) ;
  • 오승훈 (부산대학교 나노융합기술학과) ;
  • 김창석 (부산대학교 나노융합기술학과) ;
  • 정명영 (부산대학교 나노융합기술학과)
  • Published : 2009.06.03