한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

집속이온빔의 증착제어요건을 고려한 미세 패턴 형성 연구

A fine pattern formation by controlling deposition parameters of the FIB

  • 김준현 (서울테크노파크 마이크로패키징센터) ;
  • 김종형 (서울산업대 기계설계자동화공학부) ;
  • 장동영 (서울산업대 산업정보시스템공학과)
  • 발행 : 2009.06.03
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