전자빔 이미지 자동형상측정 정밀도 향상 연구

A study on the Automatic Measurement Accuracy Improvement of Electron Beam

  • 홍원표 (한국생산기술연구원 융합생산기술연구부) ;
  • 김승태 (한국생산기술연구원 융합생산기술연구부) ;
  • 강은구 (한국생산기술연구원 융합생산기술연구부) ;
  • 이석우 (한국생산기술연구원 융합생산기술연구부) ;
  • 최헌종 (한국생산기술연구원 융합생산기술연구부)
  • 발행 : 2009.06.03