Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2009.10a
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  • Pages.583-584
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  • 2009
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Ultra-Precise Motion of a Vacuum-Compatible Rotation Table using Air Bearing

공기베어링 응용 고진공 회전테이블의 미소구동특성 평가

  • 김경호 (한국기계연구원 나노융합.생산시스템연구본부 초정밀기계시스템연구실) ;
  • 박천홍 (한국기계연구원 나노융합.생산시스템연구본부 초정밀기계시스템연구실)
  • Published : 2009.10.26
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Abstract

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