Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2009.10a
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Pages.587-588
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2009
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Measurement for the Voltage of Electron Gun in SEM

주사 전자 현미경에서 전자총의 전압 측정

Lim, S.J. ;
Lee, C.H.

임선종 (한국기계연구원, 나노융합.지능형생산시스템 연구본부) ;
이찬홍 (한국기계연구원, 나노융합.지능형생산시스템 연구본부)

Published : 2009.10.26

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Abstract

Keywords