한국신재생에너지학회:학술대회논문집
- 한국신재생에너지학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
- /
- Pages.378-381
- /
- 2008
Spectroscopic Ellipsometer를 이용한 a-Si:H/c-Si 이종접합 태양전지 박막 분석
A Novel Analysis Of Amorphous/Crystalline Silicon Heterojunction Solar Cells Using Spectroscopic Ellipsometer
- Ji, Kwang-Sun (LG Electronics Advanced Research Institute) ;
- Eo, Young-Ju (LG Electronics Advanced Research Institute) ;
- Kim, Bum-Sung (LG Electronics Advanced Research Institute) ;
- Lee, Heon-Min (LG Electronics Advanced Research Institute) ;
- Lee, Don-Hee (LG Electronics Advanced Research Institute)
- 발행 : 2008.05.22
초록
고효율 a-Si:H/c-Si 이종접합 태양전지를 얻기 위해서는 우수한 c-Si wafer 위에 고품질의 비정질 실리콘박막을 통한 heterointerface를 형성하는 것이 매우 중요하다. 이를 달성하기 위해서는 공정중에 오염되기 쉬운 Si wafer 표면 상태를 정확히 검사하고 잘 관리하여야 한다. 본 연구에서는 세정 및 표면산화에 따른 Si wafer 상태를 Spectroscopic Ellipsometry 및 u-PCD를 이용하여 분석하였으며, <
키워드