대한설비공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the SAREK Conference)
- 대한설비공학회 2008년도 하계학술발표대회 논문집
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- Pages.725-730
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- 2008
입자하전량에 따른 클린룸 수직벽체로의 입자침착 특성
Characteristics of Particle Deposition onto Cleanroom Wall Panel for Varying Particle Charging Rates
- 김종준 (서울시립대학교 대학원 기계정보공학과) ;
- 노광철 (연세대학교 기계정보공학부) ;
- 성상철 (서울시립대학교 대학원 기계정보공학과) ;
- 백선호 (서울시립대학교 산업대학원 기계정보공학과) ;
- 오명도 (서울시립대학교 기계정보공학과)
- Kim, Jong-Jun (Graduated School of Mechanical Engineering, University of Seoul) ;
- Noh, Kwang-Chul (Yonsei University) ;
- Sung, Sang-Chul (Graduated School of Mechanical Engineering, University of Seoul) ;
- Baek, Sun-Ho (Graduated School of Industry of Mechanical Engineering, University of Seoul) ;
- Oh, Myung-Do (Department of Mechanical and Information Engineering, University of Seoul)
- 발행 : 2008.06.25
초록
In this study, we found out charged particle's deposition characteristic by experiments of
키워드