한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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- Pages.102-102
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- 2008
$CH_4$ /Ar 유도 결합 플라즈마를 이용한 Sapphire 기판의 식각 특성
Etching properties of sapphire substrate using $CH_4$ /Ar inductively coupled plasma
- Um, Doo-Seung (Chung-Ang Univ.) ;
- Kim, Gwan-Ha (Chung-Ang Univ.) ;
- Kim, Dong-Pyo (Chung-Ang Univ.) ;
- Yang, Xue (Chung-Ang Univ.) ;
- Kim, Chang-Il (Chung-Ang Univ.)
- 발행 : 2008.11.06
초록
Sapphire (