Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2008.11a
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- Pages.287-288
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- 2008
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- 2005-8446(pISSN)
FAB Etching Method And Diamond Scribing For Sawtooth Gratings
Sawtooth 회절 격자 가공을 위한 FAB 에칭과 다이아몬드 Scribing 방법
- Published : 2008.11.12