한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

PECVD에 의한 비정질 탄소층 증착

Deposition of Amorphous Carbon Layer by PECVD

  • 발행 : 2007.04.05
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초록

3,3-Dimethyl-1-butene (C6H12) monomer를 이용하여 RF power와 압력에 따라 막을 증착하였다. 증착된 비정질 탄소막은 power/pressure (W/Torr)가 증가할수록 Raman 스펙트럼에서 D peak가 증가하였고, ring 구조의 막을 형성하였다. 또한 ring 구조의 막이 형성됨으로써 hardness와 modulus는 각각 12 GPa과 85 GPa로 선형적으로 증가하는 것으로 나타났다.

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