The FinFET Design using Tecplot of Sentaurus Tool

Sentaurus의 Tecplot를 이용한 FinFET 구현

  • Han, Ji-Hyung (School of Electronic and Information Eng., Kunsan National University) ;
  • Jung, Hak-Kee (School of Electronic and Information Eng., Kunsan National University) ;
  • Lee, Jae-Hyung (School of Electronic and Information Eng., Kunsan National University) ;
  • Jeong, Dong-Soo (School of Electronic and Information Eng., Kunsan National University) ;
  • Lee, Jong-In (School of Electronic and Information Eng., Kunsan National University)
  • 한지형 (군산대학교 전자정보공학부) ;
  • 정학기 (군산대학교 전자정보공학부) ;
  • 이재형 (군산대학교 전자정보공학부) ;
  • 정동수 (군산대학교 전자정보공학부) ;
  • 이종인 (군산대학교 전자정보공학부)
  • Published : 2007.10.26

Abstract

본 연구에서는 Sentaurus의 Tecplot를 이용한 FinFET를 구현 하고자 한다. FinFET구조를 간략히 설명하면 소자의 성능 향상과 누설전류의 최소화를 지속하기 위해 한면에 하나씩 두개의 게이트가 사용되어 소자의 전환을 쉽게 해준다. 이러한 구조 때문에 이중게이트 MOSFET라고 불린다 CMOS소자는 수평적으로 구성되지만 FinFET는 수직적으로 구성이 된 구조이다. FinFET 구조를 Sentaurus의 Tecplot를 사용하여 복잡한 데이터를 분석, 탐색하고 다중 XY, 2D, 3D plot를 배치하고 분석할 수 있다. Tecplot툴의 자동화된 루틴으로 데이터 분석과 plotting에 투입하는 시간을 절약할 수 있다. 본 연구에서는 Sentaurus의 Tecplot 툴을 이용하여 FinFET를 구현 하고자 한다.

Keywords