Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Performance evaluation of a confocal-microscopy based auto focusing system for laser micromachining

레이저 미세가공 응용을 위한 공초점 방식의 자동초점장치 구성 및 성능평가

  • 김수근 (레이저나노가공연구실, 광주과학기술원 정보기전공학부) ;
  • 오광환 (레이저나노가공연구실, 광주과학기술원 정보기전공학부) ;
  • 정성호 (레이저나노가공연구실, 광주과학기술원 정보기전공학부)
  • Published : 2007.07.01
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Abstract

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