Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

Ultra-precision Position Control Based on Sliding Mode observer

슬라이딩 모드 관측기 기반의 정밀 스테이지 위치 제어

  • Choi, Seung-Ok (Sungkyunkwan University, School of Information and Communication Engineering) ;
  • Choi, In-Sung (Sungkyunkwan University, School of Information and Communication Engineering) ;
  • You, Kwan-Ho (Sungkyunkwan University, School of Information and Communication Engineering)
  • 최승옥 (성균관대학교, 정보통신공학부) ;
  • 최인성 (성균관대학교, 정보통신공학부) ;
  • 유관호 (성균관대학교, 정보통신공학부)
  • Published : 2007.10.26
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Abstract

초정밀 위치 제어 시스템에서 미지의 상태변수를 관측하는 경우, 파라미터의 불확실성은 관측기 설계에 많은 어려움을 주게 된다. 슬라이딩 모드 관측기는 불확실성과 외란이 존재하는 시스템의 상태변수를 관측가능하게 하며 강인한 성능을 보여준다. 본 논문에서는 불확실성이 존재하는 시스템의 관측기를 설계하고 최적제어를 통하여 정밀 스테이지의 위치를 제어하며, 시뮬레이션을 통해 개선된 성능을 입증한다.

Keywords