Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

AZO 박막을 위한 내부삽입형 ICP 보조 Bipolar Pulsed DC Magnetron Sputtering의 플라즈마 특성 분석

  • 양원균 (군산대학교 공과대학 신소재.나노화학공학부) ;
  • 주정훈 (군산대학교 공과대학 신소재.나노화학공학부)
  • Published : 2007.02.06
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Abstract

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