퍼지 방법을 이용한 능동 방진 시스템의 개발

Development Of Active Vibration Isolation System Using Fuzzy Method

최근 반도체 및 디스플레이 산업 등에서 초정밀 가공 및 측정에 방진 시스템을 많이 필요로 한다. 기존에 소개된 여러 방진 시스템 중에서 가장 많이 연구되는 공기스프링은 압축 공기를 이용하여 큰 하중을 지지할 수 있으면서 상대적으로 낮은 강성으로 낮은 고유진동수를 유지할 수 있다. 본 연구는 Takagi-Sugeno 퍼지 방법을 이용해서 능동 방진 시스템을 설계한다. 공기의 비선형 특성에 기인하는 복잡한 비선형 시스템 제어에 PID 제어기 보다 유리한 퍼지 제어기를 설계하였고, 실험과 해석을 비교하였다.

Vibration isolation equipments are mostly required in precise measurement and manufacturing system. Among all the vibration isolation system, air-spring is the most widely used equipment because of low resonant frequency and high damping ratio. In this study, Takagi-Sugeno fuzzy method is used to design an active vibration isolation system using air-spring, and compared the fuzzy method with passive control method and PID control method. Due to the non-linearity characteristics of air-spring, fuzzy controller was verified to be the most effective both in simulation and experiment.