접촉형변위센서를 이용한 노광기용 마스크-글라스간 갭 및 평형 조절 장치

  • 임광국 (한국기술교육대학교 정보기술공학부) ;
  • 서화일 (한국기술교육대학교 정보기술공학부) ;
  • 조현찬 (한국기술교육대학교 정보기술공학부) ;
  • 정종대 (한국기술교육대학교 정보기술공학부) ;
  • 김광선 (한국기술교육대학교 메카트로닉스공학부) ;
  • 강흥석 ((주)오에프티)
  • 발행 : 2006.10.12

초록

본 연구에서는 기존의 레이저 변위센서 대신 접촉형 변위센서를 이용하여 마스크-기판간 갭 간격 및 평형 조절 장치를 구현함으로써 기판의 표면 상태에 관계없이 정확한 마스크-기판간 갭의 조정, 평형 유지가 가능하도록 하였다.

키워드