Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2006.10a
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  • Pages.137-138
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  • 2006
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Optimal Design of an Exhaust System of a Vacuum-Compatible Air Bearing

진공용 공기베어링 배기시스템의 최적설계

  • Khim, G. (Intelligent Machine Systems Center, KIMM) ;
  • Park, C.H. (Intelligent Machine Systems Center, KIMM) ;
  • Lee, H. (Intelligent Machine Systems Center, KIMM) ;
  • Kim, S.W. (Dep. of Mech. Eng. KAIST)
  • 김경호 (한국기계연구원 지능기계연구센터) ;
  • 박천홍 (한국기계연구원 지능기계연구센터) ;
  • 이후상 (한국기계연구원 지능기계연구센터) ;
  • 김승우 (한국과학기술원 기계공학과)
  • Published : 2006.10.18
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Abstract

Keywords