Vapor SAM을 이용한 점착방지막 증착조건의 최적화

  • 김규채 (한양대학교 재료화학공학부) ;
  • 차남구 (한양대학교 재료화학공학부) ;
  • 조민수 (한양대학교 바이오나노공학과) ;
  • 김진영 (한양대학교 재료화학공학부) ;
  • 박진구 (한양대학교 재료화학공학부)
  • 발행 : 2006.11.03