피코초 펄스 레이저를 이용한 사파이어 웨이퍼 스크라이빙에 관한 연구

A Study on Sapphire Wafer Scribing Using Picosecond Pulse LASER

  • 문재원 (연세대학교 금속공학과) ;
  • 김도훈 (연세대학교 금속공학과)
  • 발행 : 2005.06.10