Proceedings of the Korean Society of Laser Processing Conference (한국레이저가공학회:학술대회논문집)

Korean Society of Laser Processing (한국레이저가공학회)
권호 표지

Nanopatterning of photosensitive thin-polymer films using near-field nanolithography

근접장나노리소그라피를 이용한 광폴리머박막상의 나노패터닝

  • 권상진 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 정성호 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 장원석 (한국기계연구원 나노공정그룹) ;
  • 천채민 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 김동유 (광주과학기술원 신소재공학과)
  • Published : 2005.06.10
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Abstract

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