Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2005.05a
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- Pages.54-54
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- 2005
Selective Dry Etching of GaAs over AlGaAs in a Planar Inductively Coupled $BCL_3/CF_4$ Plasma
평판형 유도결합 $BCL_3/CF_4$ 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 선택적 건식
- Yu, Seung-Yeol ;
- Jang, Su-Uk ;
- Park, Min-Yeong ;
- Lee, Jang-Hui ;
- No, Ho-Seop ;
- Im, Wan-Tae ;
-
Lee, Je-Won
;
- Jo, Gwan-Sik ;
-
Jeon, Min-Hyeon
;
-
Song, Han-Jeong
;
- Baek, In-Gyu ;
-
Gwon, Min-Cheol
- 유승열 (인제대학교 나노공학부) ;
- 장수욱 (인제대학교 나노공학부) ;
- 박민영 (인제대학교 나노공학부) ;
- 이장희 (인제대학교 나노공학부) ;
- 노호섭 (인제대학교 나노공학부) ;
- 임완태 (인제대학교 나노공학부) ;
-
이제원
(인제대학교 나노공학부)
;
- 조관식 (인제대학교 나노공학부) ;
-
전민현
(인제대학교 나노공학부, 인제대학교 나노기술 응용연구소)
;
-
송한정
(인제대학교 나노공학부)
;
- 백인규 ((주)유니벡) ;
-
권민철
((주)유니벡)
- Published : 2005.05.26
Abstract
Keywords